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气体质量流量计 气体质量流量控制器

产品名称:气体质量流量计 气体质量流量控制器产品型号:GR/D07-19CM
作  者:123上传日期:2016-03-29

气体质量流量计  气体质量流量控制器

型号:GR/D07-19CM

质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准: 
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 
标准温度………………0℃(273.15K) 
标准压强………………101325Pa
输入和输出: 
输入电源………………+15V,50mA;-15V,50mA 
输出电压检测…………0~+5.00V


技术参数:

满量程流量范围(N2 5SCCM~30SLM
控制范围 2~100%F.S.
准确度 ≤10SLM ±1%F.S.
>10SLM ±2%F.S.
线性 ≤10SLM ±0.5~1%F.S.
>10SLM ±2%F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
响应时间 ≤1sec
温度系数 Zero:≤±0.1%F.S./℃
Span:≤±0.2%F.S./℃
工作温度范围 5~45℃
工作压差 <0.02MPa
耐压 10MPa
漏气率 1×10-9SCCSHe
密封材料 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式 DB15 pin(Male)
抗电磁干扰 CE
重量 1Kg



 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

主要特点:

★高精度,快响应型 
★橡胶密封、模拟电路的MFM 
★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 

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